TY  - RPRT
TI  - Wafer-scale integration of alpha-quartz thin films towards super high frequency piezoelectric bioNEMS for arbovirus detection
AU  - Rathar, R.
AU  - Sanchez-Fuentes, D.
AU  - Ding, S.
AU  - Jolly, C.
AU  - Andre, C.
AU  - Desgarceaux, R.
AU  - Garcia, R.
AU  - Gazquez, J.
AU  - Plana, S.
AU  - Picas, L.
AU  - Carretero, A.
PY  - 2024
DO  - 10.1101/2024.12.26.630366
UR  - https://www.biorxiv.org/content/10.1101/2024.12.26.630366v1
ID  - 10.1101/2024.12.26.630366
ER  -